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怎么提高濾光片膜層強(qiáng)度?

2020-08-11 19:24:28 NMOT

怎么提高濾光片膜層強(qiáng)度?

一款高品質(zhì)濾光片應(yīng)該有那些特征呢?

高品質(zhì)的濾光片在使用上應(yīng)該經(jīng)久耐用,滿足客戶的使用環(huán)境需求,長期的使用而保持穩(wěn)定的光學(xué)特性。那么一款高品質(zhì)的濾光片,高可靠性的濾光片是怎么制造出來的呢?深圳納宏光電帶您了解一下。

高品質(zhì)的濾光片膜層的機(jī)械性能受附著力、應(yīng)力、聚集密度等的影響,由濾光片膜層材料和工藝因素之間的關(guān)系可知如果要提高濾光片膜層的機(jī)械強(qiáng)度就應(yīng)該著重考慮以下幾個(gè)工藝參數(shù);

(1)真空度。

真空度對濾光片膜層薄膜的性能影響是很明顯的。濾光片膜層絕大部分性能指標(biāo)的好壞對真空度的依賴性很大。濾光片膜層聚集密度增大濾光片膜層牢固度增加,光學(xué)濾光片膜層結(jié)構(gòu)得到改善。

(2)沉積速率。

提高鍍膜機(jī)內(nèi)的沉積速率不僅可以用提高蒸發(fā)速率,提高蒸發(fā)源溫度的辦法,還可以用增大蒸發(fā)源面積的辦法來達(dá)到。

(3)基片溫度。

提高基片溫度有利于將吸附在基片表面的剩余氣體分子排除,增加基片沉積分子之間的結(jié)合力使濾光片膜層結(jié)構(gòu)緊密。

(4)離子轟擊。

離子轟擊對高凝聚力表面的形成、表面粗糙度、氧化作用和聚集密度有影響增加濾光片膜層的附著力;鍍后轟擊可以提高濾光片膜層聚集密度。

(5)基片清潔。

基片清洗方法不適當(dāng)或不潔凈,在基片上殘留有雜質(zhì)或清潔劑,影響到第一濾光片膜層的結(jié)構(gòu)特性和光學(xué)厚度改變?yōu)V光片膜層特性。

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