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  • 硅單晶紅外濾光片的特點(diǎn)

    硅紅外濾光片旨在降低直拉硅單晶氧含量,提高硅紅外濾光片透過率的硅片熱處理工藝。其特征是將硅片在400-1000℃溫度間的四段溫區(qū)逐步升溫并保溫適當(dāng)時(shí)間并在硅片冷卻至850℃以下時(shí)取出,處理后的直拉硅單晶片在9um處的透過率接近或達(dá)到區(qū)熔硅單晶的水平,用熱處理后的廉價(jià)直拉硅單晶片制造的紅外濾光片,可滿足紅外儀器設(shè)備所需紅外濾光片的要求,大大降低了濾光片的成本。  硅紅外濾光片的熱處理工藝,包括硅片的

    2018-04-11

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